A Lyra3 két nyalábbal rendelkező SEM rendszer, amely egyesíti a magas felbontású FE-SEM oszlopot a nagy teljesítményű Ga-ion forrású FIB oszloppal. A LYRA3 ideális választás mindazoknak, akik keresztmetszeteket, TEM lamellákat készítenek vagy FIB-SEM tomográfiát 3D rekonstrukcióhoz. A felhasználók profitálhatnak a nagy nyalábáramok melletti kiváló felbontásból, amely kifejezetten előnyös az EDX, WDX és EBSD alkalmazások során. A LYRA3 kielégíti az anyagtudomány és ipar által manapság támasztott igényeket is: minta karakterizálás és mikroanalízis területeken. Mindemellett a LYRA3 remekel az elektron/ion litográfia területén is, valamint az áramkörök kialakításánál többrétegű mikroelektronikai eszközök esetében. A TESCAN saját fejlesztésű szoftverét könnyű használni még a kezdő felhasználóknak is, erőfeszítések nélkül lehet komplex FIB-SEM felhasználásokat futtatni, mint pl. a 3D rekonstrukció, sorozatmetszések, lamella készítés vagy éppen korrelatív mikroszkópia.
Főbb jellemzők:
- Modern Elektronoptika
- Egyedülálló, 4-lencsés Széles Látómezejű OptikaTM, amely lehetőséget biztosít számos munka- és megjelenítési-módra, megnövelt látómezővel és mélységi fókusszal.
- Valós idejű, „In-Flight” Nyaláb NyomkövetésTM” a teljesítmény és optimalizáció szolgálatában, kiegészítve a jól bevált Electron Optical Design szoftverrel.
- Teljesen automata mikroszkóp felállás, beleértve az elektronoptikát és hangolást is.
- Gyors képalkotás akár 20ns rátával.
- 3D Nyaláb Technológia, mely hozzájárul az egyedi élő, térhatású képalkotáshoz; megnyitva a micro és nanovilág 3D élményét.
Nagy teljesítményű Ionoptika
Kifinomult, nagy teljesítményű CANION FIB rendszer, a gyors és precíz keresztmetszésért és TEM mintakészítésért.
Az ultra-nagy felbontású COBRA-FIB oszlop (opcionális) technológiai csúcskategóriát testesít meg, mind a nagyfelbontású képalkotásban mind a marási feladatok kivitelezésében. Ez az egyik legprecízebb „nano-engineering” FIB mikroszkóp a világon.