MAIA3 2016 modell

by iscienceuser

A MAIA3 2016 modell: egy rendkívül nagy felbontást biztosító SEM pásztázó elektronmikroszkóp, kiváló képalkotási lehetőségekkel az elektronnyaláb teljes hatótávolságában.

A sokoldalú detektáló rendszer és a nagy térbeli felbontás lehetővé teszik az anyagfelszín legapróbb részleteinek a vizsgálatát is. Ez alapvető a nanoanyagok átfogó vizsgálatánál pl. az elektronsugárra érzékeny minták esetében a félvezető iparágban, illetve a szigetelő minták vizsgálatánál, valamint a bevonat nélküli biológiai minták esetében.

Főbb jellegzetességek:

  • Triglav™ - új tervezésű UHR (ultra-high resolution) elektronoszlop
    • TriLens™ objektív/tárgylencse rendszer, amely egyedülállóan ötvözi a 3 lencsés objektívet a kereszteződésmentes nyalábokkal.
    • Fejlett detektáló rendszer számos SE és BSE detektorral
      • TriSE™ és TriBE™
    • Triglav™ - extra magas felbontás alacsony nyaláb energiával: 1 nm at 1 keV és 0.7 nm at 15 keV
    • EquiPower™ rendszer a kiváló elektronoszlop stabilitás érdekében.
    • Elektron nyalábáram akár 400 nA-ig és gyors nyalábenergia változtatás.
    • Optimalizált oszlop geometria, mely lehetővé teszi nagy minták behelyezését is (akár 8” méretig).
    • Real-time In-Flight Beam Tracing™  teljesítmény és nyaláb optimalizálás.
    • Kiterjesztett alacsony vákuummód 500 Pa-t is elérő kamrai nyomással, a szigetelő minták vizsgálatához.
  • Hármas visszaszórt elektron (BSE) detekciós rendszer: TriBE™ az elektronok visszaverődési szög szerinti gyűjtéséhez. A közepes szögben visszaverődő elektronok és a nyalábban lévő alacsony energiájú visszaszórt elektronok (LE-BSE) detektorai az oszlopban helyezkednek el és a közepes szögű valamint a tengelyirányú visszaszórt elektronokat érzékelik. A minta-kamrában lévő BSE detektor a széles/nagy szögben visszaverődő elektronokat érzékelik. Ez a hármas érzékelő rendszer lehetőséget ad a minta nagyfokú kontrasztosítására és lehetővé teszi az alacsony energiájú elektronok érzékelését akár 200eV-ig is.
  • A kamrai SE detektor kitűnő topografikus kontrasztot kínál BDM üzemmódban. Hármas szórt elektron (SE) detekciós rendszer TriSE™: a szórt elektronok optimális befogására minden üzemmódban. A nyalábban található SE detektor lehetővé teszi az elektronok érzékelését a legkisebb munkatávolságok mellett is.
  • Beam Deceleration Technology (BDT) a kiváló felbontásért már nagyon alacsony nyaláb energia esetében is: akár 50 eV-ig (opcionális)