A VEGA volt a TESCAN első SEM rendszere 16 évvel ezelőtt, jelenleg a 3. generációja érhető el a piacon. Az elmúlt években már bizonyított a megbízhatóság és teljesítmény területén, és megalapozta a TESCAN ismertségét és világvezető szerepét a töltéssel rendelkező részecskék optikai vizsgálata területén. A VEGA3 SEM vagy wolfrámmal fűtött izzószállal, vagy lantán-hexaborid (LaB6) elektronforrással kerül forgalomba.
A VEGA3 megbízhatóan működik mind alacsony mind magas vákuum mellett, biztosítva a vevőknek a legújabb technológiák nyújtotta előnyöket, mint pl. az új, továbbfejlesztett, nagy teljesítményű elektronika a gyorsabb képalkotásért; ultragyors pásztázó rendszer, az álló és mozgó képek aberrációinak kompenzálásával illetve a „scripting” a felhasználó által meghatározott alkalmazásokhoz.
Továbbá a nagy teljesítményű turbó-molekuláris és rotációs vákuum-szivattyúk révén, az optimális működési vákuum érték pár perc alatt elérhető. A VEGA3 mikroszkópok 4 különböző kamra-mérettel rendelhetőek: SB, LM, XM és GM. Ezek a kamrák számos porttal rendelkeznek, megfelelő geometriai elhelyezkedésben a következő alkalmazásokhoz: EDX, WDX és EBSD.
A VEGA3 megfelelő választás mindazok számára, akik egy megbízható, teljes értékű, kezdő szintű pásztázó elektronmikroszkópot szeretnének megfizethető áron.
Főbb tulajdonságok:
- Egyedülálló, 4-lencsés Széles Látómezejű OptikaTM, amely lehetőséget biztosít számos munka- és megjelenítési-módra.
- A TESCAN által fejlesztett Köztes Lencse (IML) a nyalábátmérő optimalizálásában segít azáltal, hogy elektromágneses úton változtatja a végső apertúra méretét.
- Valós idejű „In-Flight” Nyaláb NyomkövetésTM a teljesítmény és optimalizáció szolgálatában, kiegészítve a jól bevált Electron Optical Design szoftverrel.
- Az oszlop kialakítása -mechanikus centráló elem nélkül is- lehetőséget biztosít teljesen automata oszlopbeállításra és hangolásra.
- Nagy áteresztőképességű, nagy felületű automatizálás, pl. automata részecske lokalizáció és elemzés.
- Kiváló mintakezelés a teljesen motorizált „compucentric” mintatartónak köszönhetően.
- Ideális kialakítás az EDX, WDX, EBSD felhasználásokhoz; torzításmentes EBSD mintázat.
- Gyors és egyszerű kamra-vákuum előállítás, az erőteljes turbomolekuláris és rotációs elülső vákuumszivattyúk segítségével.
- Teljesen automata mikroszkóp felállás, beleértve az elektronoptikát és hangolást is.
- Kifinomult SEM szoftver, amely szabályozza a mikroszkóp működését, a képalkotást, az archiválást, a feldolgozást és elemzést; több-felhasználós felhasználói környezet, amely számos nyelven elérhető a felhasználók számára.
- Hálózati alkalmazások, távoli hozzáférés és diagnosztika, amely a TESCAN alapszolgáltatás része.
- Egyedülálló, valós idejű sztereoszkópikus képalkotás 3D nyalábtechnológia segítségével.