A MIRA3 egy nagy teljesítményű SEM rendszer, nagy fényességű Shottky emitter elektron-forrással: a nagy felbontású, alacsony zajszintű képalkotásért. A MIRA3 biztosítja a legújabb technológiák nyújtotta előnyöket, mint pl. az új, továbbfejlesztett, nagy teljesítményű elektronika a gyorsabb képalkotásért; ultragyors pásztázó rendszer, az álló és mozgó képek aberrációinak kompenzálásával illetve „scripting” a felhasználó által meghatározott alkalmazásokhoz.
A nagy nyalábáram melletti kiváló felbontás különösen előnyös az EDX, WDX és EBSD összetételi elemzésekhez. Az alacsony elektron-energia melletti képalkotást tovább javíthatja az opcionális nyaláb-lassító funkció (BDT). A MIRA3 LM, XM és GM kamramérettel rendelhető, optimális kialakítással mind az alacsony, mind a magas vákuumú működési módokhoz.
Főbb jellemzők:
- Nagy fényességű Shottky emitter: a nagy felbontású, nagy áramú, alacsony zajszintű képalkotásért.
- Egyedülálló, 4-lencsés Széles Látómezejű OptikaTM, amely lehetőséget biztosít számos munka- és megjelenítési-módra, megnövelt látómezővel és mélységi fókusszal.
- Valós-idejű, „In-Flight” Nyaláb NyomkövetésTM” a teljesítmény és optimalizáció szolgálatában, kiegészítve a jól bevált Electron Optical Design szoftverrel.
- Nyaláblassító technológia (BDT) a még jobb felbontásért, alacsony nyaláb-feszültség értékek mellett is.
- Nagyszerű képalkotás kis munkatávolság mellett is, a nyalábba épített „In-Beam” detektorok segítségével.
- A MIRA3 kamrái kiváló mintakezelést tesznek lehetővé, a teljesen motorizált, 5-tengely menti elmozdulást biztosító kompucentrikus asztal segítségével és ideális térbeli elrendezéssel bírnak az EDX és EBSD alkalmazásokhoz.
- Opcionális extra-nagy mintatartó kamrák (XM, GM), amelyek akár 6-8-12 inch nagyságú minták behelyezését is lehetővé teszik.
- Számos csatlakozási lehetőség, optimális térbeli elhelyezéssel: biztosítva az EDX, WDX, EBSD detektorok csatlakoztatását.
- Szigetelő minták vizsgálata, különböző nyomásértékek mellett.
- Számos kamra-felfüggesztési mód, amely biztosítja a környezeti rezgések hatásos csökkentését a laboratóriumban.
- Torzítás-mentes EBSD mintázat.